|
¹ÉÊдúÂ룺SH600522 | |
ÀûÀ´¹Ù·½ÍøÕ¾Èº |
ÀûÀ´¹Ù·½ÍøÊÀóÓÐÏÞ¹«Ë¾
½¶«½ð¾ß×°±¸ÓÐÏÞ¹«Ë¾
ÉϺ£êÅÆ·Í¨Ñ¶¿Æ¼¼ÓÐÏÞ¹«Ë¾
ÀûÀ´¹Ù·½Íø¿í´øÊÖÒÕÓÐÏÞ¹«Ë¾
½ËÕÀûÀ´¹Ù·½Íø»¥Áª¿Æ¼¼ÓÐÏÞ¹«Ë¾
½ËÕÀûÀ´¹Ù·½Íø²®ÀÖ´ï±äѹÆ÷ÓÐÏÞ¹«Ë¾
|
EN |
Òò²úÁ¿Ð¡ºÍ±¾Ç®¸ßµÈÎÊÌ⣬ÏÖÔÚ×ÊÔ´Êг¡ÉÏ´óÈȵÄʯīϩ£¬ÈÔÄÑÒÔ´ó×Ú½øÈëÏÖʵӦÓÃÖС£²»¹ý£¬ÏÖÔÚÖйú¿ÆÑ§¼Òͨ¹ý¶ÔÉú²úÒªÁìµÄµ÷½âºÍˢУ¬Ê¹µ¥¾§Ê¯Ä«Ï©±¡Ä¤µÄÉú²úËÙÂÊÌá¸ßÁË150±¶£¬¸ÃÑо¿ÎªÊ¯Ä«Ï©µÄ´ó¹æÄ£Ó¦ÓõÓÚ¨ÁË»ù´¡¡£
ÉÏÊöÊÖÒÕÍ»ÆÆÀ´×Ô±±¾©´óѧ¡¢Î人´óѧ¡¢ÄÏ·½¿Æ¼¼´óѧºÍÏã¸ÛÀí¹¤´óѧµÄÑо¿ÍŶӡ£¸ÃÍŶӵÄÑо¿ÂÛÎÄÒÑÓÚ8Ô·ÝÔÚ¹ú¼ÊȨÍþÔÓÖ¾¡¶×ÔÈ»¡·µÄ×Ó¿¯¡¶×ÔÈ»¨BÄÉÃ×ÊÖÒÕ¡·ÉÏÔÚÏß½ÒÏþ¡£
ʯīϩ£¨Graphene£©ÊÇÓÉ̼Ô×Ó×é³ÉµÄÖ»ÓÐÒ»²ãÔ×Óºñ¶ÈµÄ¶þά¾§Ì壬±»ÒÔΪÊÇÏÖÔÚÌìÏÂÉÏÉÏ×ȴҲÊÇ×î¼áÓ²µÄÄÉÃ×ÖÊÁÏ£¬Ò²ÊÇÏÖÔÚÊÀÉϵç×èÂÊ×îСÖÊÁÏ¡£ÕýÒò¾ßÓÐÕâЩÓÅÒìÐÔÄÜ£¬¿ÉÌæ»»¹Å°åÖÊÁÏ£¬²¢ÄÜ´Ù³ÉÖÚ¶àÊÖÒÕ¸ïÃü£¬Ê¯Ä«Ï©±»ÒÔΪ¾ßÓв»¿É¹ÀÁ¿µÄÓ¦ÓÃÔ¶¾°¡£
ÔÚ×ÏÍâ¹â³ôÑõÕæ¿ÕÐÍ×°±¸Ç°µÄº¬ÓÐʯīϩµÄÈáÐÔ×ÓÁϺÍʯīϩ·ÛÄ©¡£
ʯīϩÖ÷ÒªÓÐʯīϩ±¡Ä¤ºÍʯīϩ·ÛÌåÁ½ÖÖ£¬Ê¯Ä«Ï©·ÛÄ©Ö÷ÒªÊDzôÔÓÔÚÆäËûÖÊÁÏÖУ¬Æðµ½¸ÄÐÔµÄ×÷Óã¬Ö÷ÒªÓ¦ÓÃÓÚÐÂÖÊÁÏÁìÓòºÍÄÜÔ´ÁìÓò£¬ºÃ±È·À¸¯Í¿ÁÏ¡¢É¢ÈÈÍ¿ÁÏ¡¢ï®Àë×Óµç³ØµÈ¡£Ïà½ÏÓÚʯīϩ·ÛÌ壬ʯīϩ±¡Ä¤Ö÷ÒªÓÃÓÚµç×Ó´¥¿ØÒÔ¼°µç×ÓÒÂ×Å×°±¸µÈ·½Ãæ¡£
ÏÖÔÚÖÆ±¸¸ßÖÊÁ¿Ê¯Ä«Ï©±¡Ä¤µÄÒªÁ죬³ýÁ˽º´ø°þÀë·¨¡¢Ì¼»¯¹è»ò½ðÊôÍâòÍâÑÓÉú³¤·¨Í⣬Ö÷ÒªÊÇ»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ý·¨£¨ChemicalVaporDeposition£¬CVD£©¡£»¯Ñ§ÆøÏà³Á»ýÊÇÒ»ÖÖÖÆ±¸ÖÊÁÏµÄÆøÏàÉú³¤ÒªÁ죬ÊǰÑÒ»ÖÖ»ò¼¸ÖÖº¬ÓÐ×é³É±¡Ä¤ÔªËصĵ¥Ö»¡¢»¯ºÏÎïµÄÆøÌåͨÈë°²ÅÅÓлù²ÄµÄ·´Ó¦ÊÒÖУ¬½èÖú¿Õ¼äÆøÏ໯ѧ·´Ó¦ÔÚ»ùÌåÍâòÉϳÁ»ý¹Ì̬±¡Ä¤µÄ¹¤ÒÕÊÖÒÕ¡£
ͨ³£Ê¯Ä«Ï©Í¨¹ýCVDÊÖÒÕÀ´ÖƱ¸Ê±£¬Ò»Ñùƽ³£»áÑ¡Óü×ÍéµÈº¬Ì¼»¯ºÏÎïΪǰÇýÌ壬ʹÆäÔÚ½ðÊôµÈ»ùÌ壨һÑùƽ³£ÎªÍ²£©Íâò±¬·¢¸ßÎÂÆÊÎöÌìÉúÈȽâ̼£¬Í¨¹ý¿ØÖÆÖƱ¸·´Ó¦Ìõ¼þ£¬ÈȽâÌ¼ÖØÐÂÉú³¤ÐγÉʯīϩ¡£CVDÊÖÒÕ¿ÉÖª×ã¹æÄ£»¯ÖƱ¸¸ßÖÊÁ¿¡¢´óÃæ»ýʯīϩµÄÒªÇ󣬿ÉÊÇÐèÒªãýÃðºÜ³¤µÄʱ¼ä¡£¾Ý¿Æ¼¼ÈÕ±¨±¨µÀ£¬ÖƱ¸Ò»¿éÃæ»ýΪ1ÀåÃ×¾ÞϸµÄµ¥¾§Ê¯Ä«Ï©±¡Ä¤ÖÁÉÙÐèÒªÒ»ÌìµÄʱ¼ä£¬Ê®·Ö»ºÂý¡£
ÉÏÊö¿ÆÑÐÍŶӵÄÑо¿£¬¾ÍÊÇÔÚʯīϩ±¡Ä¤ÌìÉúËÙÂÊÉÏ»ñµÃÁËÁ½¸öÊýÄ¿¼¶±¶ÊýµÄÍ»ÆÆ¡£¸ÃÑо¿ÍŶӳƣ¬Äܽ«ÕâÒ»Àú³Ì´ÓÿÃë0.4΢Ã×¼ÓËÙµ½Ã¿Ãë60΢Ã×£¬ËÙÂÊÌáÉý150±¶¡£¶øÆäÖеľ÷ÇÏ£¬¾ÍÊÇÔÚ¼ÓÈë·´Ó¦µÄͲÉÏÖ±½Ó¼ÓÈëÁËÉÙÐíÑõÆø¡£
Ñо¿Ö°Ô±ÔÚÓëÍ»ù°åÏà¾à15΢Ã׵ĵط½£¬°²¶ÙÁËÒ»¸öSiO2/Si£¨SiO2ºñ¶ÈΪ5ÄÉÃ×)»ù°å£¬SiO2ÔÚÁè¼Ý800¡æÊ±¿ÉÒÔ»ºÂýÊÍ·ÅÑõÆø£¬Í¨¹ýΪ¼ÓÈë·´Ó¦µÄÍ»ù°åÒ»Á¬ÌṩÑõ£¬½µµÍ̼ԴµÄÆÊÎöÄÜÁ¿ÊÆÀÝ£¬½«ÖƱ¸ËÙÂÊÌáÉýÁË150±¶£¬Ê¯Ä«Ï©ÌìÉúËÙÂÊ¿ÉÒÔµÖ´ï60΢Ã×/Ã룬5ÃëÄÚ¿ÉÒÔÀÖ³ÉÉú³¤³ß´ç¾ÞϸΪ0.3ºÁÃ×µÄʯīϩ¾§Á£¡£
Ñо¿Ö°Ô±³Æ£¬¶Ôʯīϩ¹¤Òµ¶øÑÔ£¬¸ÃÑо¿ÒâÒåÖØ´ó¡£Í¨¹ý¸ÃÊÖÒÕʯīϩµÄÉú²ú½«ÄܽÓÄÉЧÂʸü¸ßµÄ¾í¶Ô¾íÖÆ³Ì¡£¶ø²úÁ¿µÄÔöÌíºÍ±¾Ç®µÄϽµ£¬»á½øÒ»²½À©´óʯīϩµÄʹÓùæÄ££¬´Ì¼¤ÆäÐèÇóÁ¿µÄÔöÌí¡£
ÏÖÔÚ¸÷¹ú¶¼ÔÚÆð¾¢¶ÔʯīϩÕö¿ª¿ÆÑ§Ñо¿£¬ÒÔʯīϩΪ´ú±íµÄÐÂÖÊÁÏÒÑÄÉÈëÖйú¡°Ê®ÈýÎ塱¹ú¼ÒÕ½ÂÔÐÔÐÂÐ˹¤ÒµÉú³¤ÍýÏëºÍ¡°Ê®ÈýÎ塱¹ú¼Ò¿Æ¼¼Á¢ÒìÍýÏëÖУ¬Å·ÃËίԱ»á½«Ê¯Ä«Ï©ÁÐΪ½öÓеÄÁ½¸ö¡°Î´À´ÐÂÐËÊÖÒÕÆì½¢ÏîÄ¿¡±Ö®Ò»¡££¨ÎÄÕÂȪԴ£ºÖйúÄÜÔ´Íø£©